JYUGEMは、半導体製造装置を対象にSECS/HSMSの標準的な適用方法を定義したGEM/OBEMスタンダードを実現するためのプログラムです。
・接続モード(ACTIVE/PASSIVE)をパラメータで指定可能にしました。 ・デフォルトのSECSメッセージフォーマットをプログラム内部に定義しました。