JYUGEMは、半導体製造装置を対象にSECS/HSMSの標準的な適用方法を定義したGEM/OBEMスタンダードを実現するためのプログラムです。
boost::fsmによるハレルステートモデル表記のSEMIスタンダード実装。 LoadPort、Carrier、CIDRWを追加しました。
