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プロジェクト概要

JYUGEMは、半導体製造装置を対象にSECS/HSMSの標準的な適用方法を定義したGEM/OBEMスタンダードを実現するためのプログラムです。

システム要件

システム要件が設定されていません

リリース時刻: 2004-08-07 21:19
SECS-Analyzer secs_analyzer-20040807.zip (1 個のファイル 非表示)

リリースノート

出力形式にSMLフォーマットを追加。

変更履歴

変更履歴はありません